采用進口紫外納秒激光器、自行研發(fā)成絲技術(shù)、聚焦光束直徑小至1-2μm，激光光束質(zhì)量好，高峰值功率、窄脈寬、高脈沖穩(wěn)定度，聚焦光斑小，加工速度快，熱影響區(qū)小確保對面板無損傷；
采用高精密直線電機平臺和全閉環(huán)光柵檢測控制系統(tǒng)，保證機床的定位和重復(fù)精度；
配備高像素CCD 相機，具有圖像自動識別、高精度圖像定位動能；并可抓各類絲印的Mark標（靶標：圓形 十字 菱形 十字加實心圓），也可以抓工件邊角、倒角、鉆孔等；
配備工業(yè)專用控制電腦，全過程電腦軟件自動控制，操作簡易，整機性能穩(wěn)定，可長期運行；
采用高剛性結(jié)構(gòu)設(shè)計、減震機床腳杯和天然大理石組成的機床基座，既能消除工作臺啟動/停止和加速過程中產(chǎn)生的慣性震動，也可有效防止因氣候變化溫差引起的床身應(yīng)力變形；
12年激光微細加工系統(tǒng)研發(fā)設(shè)計技術(shù)積淀確保性能穩(wěn)定，2萬小時無耗材。
| 光學(xué)單元 | ||
|---|---|---|
| 序號 | 項目 | 參數(shù) |
| 01 | 激光器類型 | 1064nm納秒 |
| 02 | 冷卻方式 | 恒溫風(fēng)冷 |
| 03 | 激光功率 | ≥3W |
| 04 | 光束質(zhì)量 | M2＜1.3 |
| 05 | 加工頭數(shù) | 四頭 |
| 06 | 最小聚焦光斑直徑 | Φ1-2μm |
| 激光加工性能 | ||
|---|---|---|
| 序號 | 項目 | 參數(shù) |
| 01 | 加工速度 | ≤120mm/s |
| 02 | 最大加工尺寸&精度 | 750X650mm,±20μm |
| 03 | CCD定位視覺精度 | ±3μm |
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